新澳门六合彩开奖号码 朔方华创央求清洁尽头的检测秩序及半导体工艺开荒专利, 简略实时检测清洁尽头
发布日期：2024-06-15 06:48 点击次数：63
金融界2025年1月30日音尘，国度常识产权局信息清晰，北京朔方华创微电子装备有限公司央求一项名为“清洁尽头的检测秩序及半导体工艺开荒”的专利，公开号CN119372621A，央求日历为2023年7月。
专利选录清晰，本央求公开一种清洁尽头的检测秩序及半导体工艺开荒，其中检测秩序包括：在工艺腔室实行原子层千里积工艺之前变成袒护所述工艺腔室里面系数这个词名义的信号膜层；在所述工艺腔室达到清洗条目时，向所述工艺腔室通入清洁气体，以实行清洁工艺，生成清洁后的反馈气体；检测所述反馈气体中所述信号膜层对应的反馈物变化信息，字据所述反馈物变化信息笃定清洁尽头。本央求简略实时检测清洁尽头，最大甩掉地幸免过度清洁或者清洁不透顶的问题。
天眼查贵寓清晰，北京朔方华创微电子装备有限公司，建树于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册老本114153.708311万东谈主民币，实缴老本114153.708311万东谈主民币。通过天眼查大数据分析，北京朔方华创微电子装备有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标神志1000次，常识产权方面有商标信息38条，专利信息5000条，此外企业还领有行政许可339个。
本文源自：金融界
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